Titre : Contraintes résiduelles de relaxation dans la croissance hétéroépitaxiale des films minces 

Auteurs : Aziz SOUFI, Khalil El-Hami,  

Revue : Incertitudes et fiabilité des systèmes multiphysiques 

Numéro : Numéro 2 

Volume : 1 

Date : 2017/11/3 

DOI : 10.21494/ISTE.OP.2017.0182 

ISSN : 2514-569X 

Résumé : La dynamique de la nucléation des dislocations des dipôles de bord à partir des zones latérales libres, à
proximité des interfaces entre le substrat et la couche mince du film obtenues par croissance hétéroépitaxiale est
discutée. La méthode d’analyse utilise la superposition des dislocations d’image et de la distribution des forces de surface
de Boussinesq. Le calcul théorique est effectué en utilisant la méthode du gradient conjugué et le code Mathematica. Ce
travail montre comment la stabilité des dislocations de bord, disloquées à partir de la surface latérale, est très importante
pour évacuer les déformations entre les paramètres des mailles. 

Éditeur : ISTE OpenScience